Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals /
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| Autor Corporativo: | |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Artículo |
| Idioma: | Spanish |
| Publicado: |
[Tolima] :
[Universidad Del Tolima],
[2009]
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://elibro.net/ereader/unsbiblio/94724 |
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