Electron optical systems for microscopy, microanalysis & microlithography : proceedings of the 3rd Pfefferkorn Conference, held April 9 to 14, 1984, at the Carousel Hotel, Ocean City, MD /
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Formato: | Libro |
Idioma: | English |
Publicado: |
AMF O'Hare [Chicago], IL. U.S.A. :
Scanning Electron Microscopy,
c1984.
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Descripción Física: | 272, viii p. : il. ; 29 cm. |
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Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índices. |
ISBN: | 0931288347 |