Electroceramic-Based MEMS Fabrication-Technology and Applications /
Guardado en:
| Autor Principal: | |
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| Autor Corporativo: | |
| Formato: | Electrónico |
| Idioma: | English |
| Publicado: |
Boston, MA :
Springer Science+Business Media, Inc.,
2005.
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| Series: | Electronic Materials: Science and Technology,
9 |
| Materias: | |
| Acceso en línea: | SpringerLink, via BECYT |
| Etiquetas: |
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