Comentarios: Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology

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Autor Principal:	Hierlemann, Andreas.
Autor Corporativo:	SpringerLink (Online service)
Otros Autores:	Baltes, H., Fujita, Hiroyuki., Liepmann, Dorian.
Formato:	Electrónico
Idioma:	English
Publicado:	Berlin, Heidelberg : Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2005.
Series:	Microtechnology and MEMS,
Materias:	Chemistry Analytical biochemistry Weights and measures Electronics Optical materials Nanotechnology Surfaces (Physics) Analytical Chemistry Optical and Electronic Materials Surfaces and Interfaces, Thin Films Measurement Science, Instrumentation Electronics and Microelectronics, Instrumentation
Acceso en línea:	SpringerLink, via BECYT
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