Electron beam interactions with solids for microscopy, microanalysis & microlithography : proceedings of the 1st Pfefferkorn Conference, held April 18 to 23, 1982, at the Asilomar Conference Center, Monterey, CA /

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Autor Corporativo: Pfefferkorn Conference Monterey, Calif.)
Otros Autores: Kyser, David F., (Editor , ed.)
Formato: Libro
Idioma:English
Publicado: AMF O'Hare [Chicago], IL : Scanning Electron Microscopy, Inc., c1984.
Materias:
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