Electron beam interactions with solids for microscopy, microanalysis & microlithography : proceedings of the 1st Pfefferkorn Conference, held April 18 to 23, 1982, at the Asilomar Conference Center, Monterey, CA /
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Formato: | Libro |
Idioma: | English |
Publicado: |
AMF O'Hare [Chicago], IL :
Scanning Electron Microscopy, Inc.,
c1984.
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